Сервисное обслуживание станков

Поскольку производство различных модификаций микросхем все более расширяется, установки лазерной подгонки должны быть приспособлены к схемам с различными степенями интеграции элементов на подложках. Такие установки должны удовлетворять двум требованиям. Изготовителями выпускается ограниченное количество "специальных" микросхем, к которым предъявляются очень высокие требования с точки зрения качества лазерной подгонки.

Это схемы для военной промышленности и дальней связи. Для широкого потребления необходимо большое количество схем, но не обязательно такого высокого качества. Здесь приобретает значение скорость подгонки. Таким образом, совершенствование лазерных установок подгонки идет в двух направлениях – повышение точности лазерных манипуляций и повышение скорости процесса.

Кроме того, автоматические загрузчики-разгрузчики подложек должны обеспечить более высокую точность установки подложек с хорошей повторяемостью результатов. Требуется техника, работающая плавно, использующая подачу без толчков, обеспечивая перемещение подложек с помощью ременных приводов и скользящих платформ, которые избавят от повреждений поверхности подложек.

По тем же причинам используют кассеты для хранения подложек в отдельных ячейках. Магазин без замкнутых отделений обеспечивает высокую плотность хранения подложек и длительное время эксплуатации в автоматических линиях без наблюдения оператора. Все это значительно оптимизировало производственный процесс.