Другие системы
Установка Терадайне W 311" с автоматическим загрузочным устройством DEK 1223 включает магазинный загрузчик, магазин прошедших лазерную подгонку схем, устройство подгонки с телекамерой, передающей изображение на монитор. На экране вместе со схемами видны и подведенные контакты (иглы зондовой установки). Для управления оператор использует комбинированную панель.
Емкость магазина до 500 подложек. Когда магазин пуст или переполнен, подается автоматический сигнал, привлекающий внимание оператора.
Для лазерной подгонки также может использоваться лазер в режиме модулированной добротности с накачкой криптоновыми лампами, излучающий на длине волны 1,06 мкм. Вместо метки, показывающей положение луча лазера на экране дисплея, используется видимое излучение гелийнеонового лазера, которое направлено соосно с лучом режущего лазера. Наблюдать рабочее поле можно либо через бинокулярный микроскоп, либо на экране монитора.
Возможности этой системы так же широки, как и других устройств лазерной подгонки. Исключение составляет система перемещения луч на основе гальванометров. Луч отражается двумя зеркалами: одним по оси X, другим по оси Y. Обладая малой массой, они легко меняют свое положение: ускорения могут достигать 400 G.
Система DEK 4000 загружает и выгружает подложки толкающими пластинами. Подложки при этом перемещаются по каналам. Такая система может работать и с гибридными микросхемами, так как магазины имеют достаточно большие отделения, чтобы содержать подложки с навесными элементами. Основные размеры и точность такие же, как у систем подобного типа.
