Толстопленочная технология
Такая подгонка позволяет увеличить точность изделий и в то же время уменьшить затраты на их производство.
Толстопленочная технология – развивающаяся область в микроэлектронике, и использование лазера внесло большой вклад в ее развитие. Толстопленочные схемы получили широкое распространение, так как в ряде случаев стали заменять твердотельные схемы. Толстопленочные схемы обеспечивают новый подход к решению некоторых проблем, требуют меньшие затраты на производство по сравнению с твердотельными схемами.
Обладая достоинствами многослойных и гибридных микросхем, компактностью и высокой воспроизводимостью, толстопленочные схемы приближаются по своим параметрам к большим интегральным схемам.
Все это привело к росту требований, предъявляемых к лазерному оборудованию. Лазерные устройства, использующиеся в производстве микросхем высокой степени интеграции, не должны вызывать их повреждения. Повышенный уровень точности изготовления микросхем требует от лазерной подгонки также более высокой точности, а растущие скорости производства микросхем — более высоких скоростей лазерной подгонки.
Основные этапы подгонки микросхем. В качестве примера рассмотрим процесс изготовления толстопленочных резисторов. Сегодня существует возможность печатания широкого спектра номиналов резисторов.









